智能程控匀胶机有哪些规格
智能化设计、高配置、高稳定性机型。
PC控制系统，更好的可操控性可编程设计。
5“人机界面，全中文操作系统，更方便操作。
适合多种材料匀胶、制版工艺。
广泛应用于微电子、光电子、通讯、微机械、材料科学及新能源等领域
采用无刷伺服电机，全闭环数字编码器测速机构，实测整个过程马达速度。 机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢、不生锈，便于清洗。
排风和抽气系统位于载片台底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。透明可视密封盖可以在旋涂作业时*隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒气味的散发。
配有真空泵电源输出接口与抽气接口，由界面集中控制。
旋涂程序：用户可通过PC界面设置和存储工艺参数，可存储15组参数，支持多段速。
转动速度：0-5,000rpm
旋涂加速度：0-5000rpm/sec，加、减速时间可自由设置（0-20000ms）
转速稳定度 ±1rpm
测速精度<0.2rpm
工艺时间设定： 0-9,999.9 sec/step 0.1 精度
可镀膜尺寸5mm-200mm(8〞) （标配1-2英寸）
旋涂作业均匀性：< ±3%
支持基片厚度≤5mm
匀胶腔室内径：Ф260mm ，不锈钢材质、可视透明上盖
抽气接口: Ф8mm快速接头，配Ф8mm透明抽气管
样片托：根据实际尺寸定制。
真空泵：配100L/min无油真空泵一台
电源输入： AC220V/240V 50HZ
整机功率：630W （真空泵230W 主机400W）
机身重量：11Kg
真空泵重：6.0Kg
设备尺寸：280×360×240mm
