数字式电阻率测试仪技术文章
一·概述
M-2型数字式电阻率测试仪是运用四探针测量原理的多种用途综合测量装置，它可以测量片状，块状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（也称方块电阻）?；簧咸刂频乃奶秸氩馐约芯?，还可以对金属导体的低，中值电阻进行测量。
仪器由主机，测试探头（可选配测试台）等部分组成，测试结果用数字表头直接显示。主机主要由数控恒流源，高分辨率ADC，嵌入式单片机系统组成，自动转换量程。测试探头采用高耐磨碳化钨探针制成，定位准确，游移率较小，寿命长。
仪器适用于半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料的电阻性能的测试。特别适用于要求快速测量中低电阻率的场合.
本仪器工作条件为：
温度：
相对湿度： 60% ~ 70%
工作室内应无强电磁场干扰，不与高频设备共用电源
二· 技术参数
1. 测量范围：
电阻率：10 -2 ~ 102Ω-cm
方块电阻：10 -1 ~ 103Ω/□
电阻：10 -3 ~ 9999Ω
2. 可测半导体材料尺寸
直径：15mm-100mm
长（或高）度：≤400mm
3. 测量方位：
Z轴向，径向均可
4. 数字电压表
量程：2V
误差: ：± 0.1% FSB ± 2LSB
大分辨力：10μA
精度： 18位ADC ( 5 1/2 位)
显示：4位数字显示，小数点自动显示
5. 数控恒流源
电流输出： 直流电流 2μA~ 2mA, 2μA步进可调，系统自动调整。
误差：± 0.1% FSB ± 0.5LSB
6. 四探针测试探头：
探针间距： 1mm
探针机械游移率：± 1%
探针：碳化钨，直径0.5mm
7.电源：
DC 4.5V ~8V
功耗： < 1W
电源适配器：输入： 220V±10% 50Hz
输出：DC5V ± 10%
8. 外形尺寸：
主机： 170mm (长) X 130mm (宽) X50mm(高)
